離子銑技術（Ion milling）原理：
基本概念：離子銑技術是一種利用離子束對固體表面進行銑加工的技術。它通過高能離子束對材料進行照射，從而在固體材料上產生特定的加工效果。
加工過程：在離子銑技術中，試料台會以相對於離子束源照射的離子束的光軸垂直或大致垂直的傾斜軸為中心擺動。這樣，試料台上的部分材料會被掩膜遮蔽，不被離子束照射，而其餘部分則會被離子束照射。通過這種方式，可以在試料台上製作出垂直於離子束光軸的加工面。
套用：離子銑技術可以套用於刻蝕器件或電路圖形，具有高精度和避免沾污或遺留雜質的優點。它類似於使用鋒利的工具（如西瓜刀）對材料進行切割，能夠產生非常平整的斷面。
平滑化工序：在某些套用中，離子銑技術還涉及到平滑化工序。在這個過程中，試料會以特定的方式擺動，以平滑因剖面製作工序而在加工面上產生的筋狀凹凸。這可以通過調整試料在離子束光軸方向上的傾斜角度來實現，通常是在0度至20度之間。
綜上所述，離子銑技術是一種利用高能離子束對材料進行精確加工的技術，具有高精度和避免沾污的優點，能夠用於刻蝕器件或電路圖形，並能夠平滑化加工面。