高精度的測量反饋裝置
光柵尺是一種高精度的測量反饋裝置，廣泛應用於數控機牀、自動化設備和科學研究中。光柵尺的主要組成部分包括標尺光柵和光柵讀數頭。其工作原理是利用光柵的光學原理，通過測量光線經過光柵時的衍射來確定位置和位移。當光束經過光柵時，會發生衍射，產生的衍射光與光柵相干疊加，形成一定的亮度分佈。通過測量這種亮度分佈的變化，可以推斷被測物體的位置和位移。
光柵尺可以用於檢測直線位移或角位移，其測量輸出的信號爲數字脈衝，具有檢測範圍大、檢測精度高、響應速度快的特點。光柵尺不僅廣泛應用於數控機牀的閉環伺服系統中，還用於長度檢測儀器、自動化設備、半導體制造、醫療設備、航空航天等領域。