ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）的原理結合了電感耦合電漿（ICP）技術和質譜（MS）技術。具體如下：
電感耦合電漿。在ICP-MS中，樣品被轉化為氣溶膠形式，並引入氬氣流中，進入一個由射頻能量激發的氬電漿中心區。這裡的高溫環境（可達6000至10000攝氏度）使樣品去溶劑化、汽化解離並發生電離。由於高溫，大多數樣品中的元素都會電離出一個電子，形成一價正離子。
質譜分析。在ICP-MS中，電漿中的離子被有效傳輸到質譜儀。質譜儀利用電場和磁場對離子進行分離和檢測。不同質量的離子在電場和磁場中的偏轉程度不同，從而實現不同同位素的分離。最終，離子被轉化為電子脈衝，其大小與樣品中分析離子的濃度成正比。通過與已知的標準或參比物質比較，可以對未知樣品中的痕量元素進行定量分析。
ICP-MS具有極高的靈敏度和解析度，能夠同時測定多種痕量無機元素以及有機物中的金屬元素形態。