臭氧的形成可以通過以下幾種方式進行概括：
紫外照射法。通過紫外線照射干燥的氧氣，使氧分子激活離解成氧原子，這些氧原子進而形成臭氧。
電解法。通過電解水，在陽極-溶液界面上發生氧化反應產生臭氧。
放射化學法。利用放射源核輻射離解氧分子生成臭氧。
介質阻擋放電法。通過交變高壓電場在氣體中產生電暈，電暈中的自由高能電子離解氧氣分子，經碰撞聚合爲臭氧分子。
大氣中的臭氧主要是由陽光中的紫外線作用於氧分子，氧分子分解成氧原子，然後氧原子和氧分子結合形成臭氧。在污染方面，地表臭氧主要由氮氧化物(NOx)和揮發性有機化合物(VOCs)在陽光照射下通過光化學反應產生，這是一箇複雜的過程，涉及多種化學物質和光照條件。