清洗無塵服時，應遵循以下步驟和注意事項：
預處理. 新縫製的無塵服可以直接洗滌，而已穿過的無塵服如果發現有油污，應先仔細去除油污再進行洗滌。在洗滌前，檢查無塵服是否有破損、擦破等缺陷，並進行相應的修理、更換或清潔處理。
清洗環境. 必須在比使用工作服的潔淨室的潔淨度高的潔淨室中進行清洗、烘乾和打包。清洗應在灰塵較少的地方進行，以避免二次污染。
洗滌劑和洗滌方式. 使用專用的中性洗滌劑，避免使用強酸或強鹼類型的洗滌劑。嚴禁使用硬刷子大力擦洗，以免破壞面料和導電纖維，應使用軟毛刷輕輕擦洗。
清洗過程. 溼式或乾式清洗用的水要過濾，溶劑也要蒸餾後使用。爲了除去水溶性污染物，先用清水洗滌，再用蒸餾過的溶劑進行最後的洗滌以除去油性污染物。可以在最後漂洗時使用抗靜電劑以提高抗靜電特性，但選用的抗靜電劑應與纖維結合良好，無粉塵脫落。
烘乾和包裝. 烘乾也應在灰塵少的場所進行。烘乾後，在洗滌專用的潔淨室內疊好，裝入潔淨的聚酯袋或尼龍袋內，可以進行雙層包裝或真空塑封。
以上步驟可以確保無塵服在清洗過程中保持其原有的潔淨度和性能。