源檔案一般指用彙編語言或高級語言寫出來的代碼保存為檔案後的結果，其格式取決於所使用的開發環境和程式語言。例如，C語言的源檔案通常是.c檔案，Java的源檔案是.java檔案等。不過，如果是指特定軟體的源檔案，如Photoshop的源檔案，則通常是PSD格式。
源檔案是相對目標檔案和執行檔而言的。目標檔案是源檔案經過編譯程式產生的、能被cpu直接識別的二進制檔案。執行檔則是將目標檔案連線後形成的執行檔，當然也是二進制的。
此外，源檔案還可以指最初編輯檔案所用的軟體產生的默認檔案格式，如office軟體產生的docx、pptx、xlsx等，這些都屬於源檔案格式。
總的來說，源檔案的具體格式取決於具體的程式語言和軟體環境。