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光阻是什麼材料

光敏材料

光阻,也稱為光阻劑,是一種光敏材料,用於工業製程中,特別是在光刻技術中。

光阻的主要類型包括正向光阻和負向光阻。正向光阻在光照到的地方會溶解於顯影液,而在沒有光照到的地方則不會。光阻乾膜通常由三層結構組成,包括保護膜、光致抗蝕劑層和基膜。這種材料常用於製造半導體晶片。